ทั้งหมดต้อง
โฮริบา SEC-E60-
การใช้งานหลัก:
-
สเปค
SEC - (ตัวควบคุมการไหลของมวล)
E60
ชนิดของก๊าซที่เหมาะสม * 1
N2, O2, อากาศ, H2, Ar, C3H8, CH4, C4H10
วัสดุของแผนกสัมผัสแก๊ส
SUS316. ยางฟลูออไรด์, สแตนเลสแม่เหล็ก
วาล์วรุ่น
ปิดเมื่อไม่มีพลังงาน
ช่วงการไหลมาตรฐาน (N2 FS ที่สอดคล้องกัน)
50/100 SLM
ช่วงการควบคุมการไหล (สำหรับชุด SEC)
FS 5-100%
ช่วงการวัดการไหล (สำหรับชุด SEF)
0-100% FS
ความเร็วในการตอบสนอง
ภายใน 1 วินาที (T98)
ความแม่นยำในการไหล
± 1% FS
ตรง เซ็กส์
± 0.5% FS
การทำซ้ำ
± 0.5% FS
ค่าความดันแตกต่างในการทำงาน (สำหรับชุด SEC)
100-300kPa (d)
ใช้แรงดัน (สำหรับชุด SEF)
ต่ำกว่า 350kPa (G)
ทนต่อแรงดัน
ต่ำกว่า 1MPa(G)
อัตราการรั่วไหลภายนอก
ต่ำกว่า 1 × 10-7Pa? m3 / s (เขา)
ใช้อุณหภูมิแวดล้อม
5-45 ℃ (การตรวจสอบความแม่นยำ: 15-35 ℃)
สัญญาณการตั้งค่าการไหล
0.25-5VDC (ความต้านทานอินพุตสูงกว่า1MΩ) / 5-100% FS
สัญญาณเอาต์พุตการไหล
0-5VDC (ความต้านทานโหลดขั้นต่ำ2kΩ)
ไดรฟ์พาวเวอร์ซัพพลาย
+ 15VDC ± 5% 50mA -15VDC ± 5% 200mA 3.9VA
ข้อต่อมาตรฐาน * 2
ประเภท 3/8SWL
-
ข้อกำหนดทางเทคนิค
*1: สำหรับชนิดของก๊าซนอกเหนือจากบันทึกโปรดปรึกษาหารือเพิ่มเติม
* 2 ยังสามารถใช้ข้อต่ออื่นนอกเหนือจากข้อต่อมาตรฐาน กรุณาปรึกษาหารือเพิ่มเติม
※ SEC-E40 / E50 / E40MK3 / E50MK3 มาพร้อมกับฟังก์ชั่นการล้างศูนย์อัตโนมัติ
※ความดันขาเข้าคือ SEC-E40 / 50/60 / E40MK3 / E50MK3: สูงสุด 300kPa (G); SEC-70/80: สูงสุด 350kPa (G) ด้านล่าง
※ SCCM, SLM เป็นเครื่องหมายที่แสดงถึงหน่วยการไหลของก๊าซ (mL / นาที, L / นาที, ที่ 0 ℃, 101.3kPa)
การควบคุมก๊าซที่เผาไหม้ได้สำหรับเตาอุตสาหกรรม, เตารักษาความร้อน
การควบคุมก๊าซที่เผาไหม้ได้สำหรับการเชื่อมเข็ม
การควบคุมการไหลของก๊าซที่เผาไหม้ได้ทุกชนิดนำโดยไฮโดรเจนออกซิเจนโพรเพนอาร์กอน ฯลฯ
การควบคุมการไหลของก๊าซทำความสะอาด
การควบคุมการไหลของก๊าซบนอุปกรณ์ทดลอง
ต้องการอุปกรณ์ควบคุมการไหลที่ต้องการระบบอัตโนมัติ
อุปกรณ์ที่ต้องการเข้าใจปริมาณการใช้งานทั้งหมด ฯลฯ
คุณลักษณะ:
ตระหนักถึงการควบคุมจากการไหลขนาดเล็กเพื่อการไหลขนาดใหญ่ที่มีเสน่ห์ราคา
การตอบสนองความเร็วสูงถึงค่าการตั้งค่าการไหลภายใน 1 วินาที ติดตั้งวงจรควบคุมที่ออกแบบล่าสุดและเซ็นเซอร์ตรวจจับการไหลที่ตอบสนองด้วยความเร็วสูง ตามสัญญาณไฟฟ้าที่ได้รับ ความมั่นคงเริ่มต้นของการไหลค่อนข้างดี ผ่านขั้นตอนการดําเนินการของการเปลี่ยนแปลงการไหลทําให้สามารถวัดและควบคุมการไหลที่มั่นคงได้ตลอดเวลา (รูปแบบที่สอดคล้องกับการไหลขนาดใหญ่: SEC-E80 ตอบสนองภายใน 2 วินาที)
ความแม่นยำสูง± 1.0% FS
ความน่าเชื่อถือสูงพร้อมฟังก์ชั่นการปรับศูนย์อัตโนมัติ
สามารถควบคุมการไหลของมวลได้อย่างแม่นยำ ที่เรียกว่าการควบคุมการไหลของมวลคือการวัดการไหลของมวลสามารถตามสัญญาณไฟฟ้าที่ได้รับโดยอัตโนมัติดำเนินการไหลโดยพลการชนิดของตัวควบคุม ดังนั้นแม้ว่าการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมการใช้งานเช่นอุณหภูมิความดันไม่จำเป็นต้องแก้ไขเพื่อให้การควบคุมการไหลของมวลเป็นไปอย่างถูกต้อง
ใช้วาล์วฟังก์ชั่นการไหลอัตโนมัติ วาล์วควบคุมการไหลเนื่องจากมีการใช้ฟังก์ชั่นการไหลอัตโนมัติประเภทการควบคุมเมื่อแหล่งจ่ายไฟของร่างกายไม่มีอาหารวาล์วจะปรับเป็นสถานะปิดโดยอัตโนมัติ นอกจากนี้ยังสามารถควบคุมการไหลให้น้อยที่สุดในกรณีที่ไฟดับ
หลักการทำงาน:
1, ก๊าซที่เข้ามาในทางเข้าจะถูกแยกไปยังเซ็นเซอร์การไหลและบายพาส
2 ผ่านเซ็นเซอร์เพื่อรับข้อมูลการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่เกิดขึ้นตามสัดส่วนการไหลของมวลเพื่อแลกเปลี่ยนเป็นสัญญาณไฟฟ้าในวงจร
3, สัญญาณจะถูกส่งออกไปภายนอกผ่านลูปเพิ่ม, ลูปแก้ไข, ด้วยสัญญาณไฟฟ้าเชิงเส้น 0-5V, ในทางกลับกันป้อนเข้าไปในลูปควบคุมเปรียบเทียบ
4, สัญญาณการตั้งค่าที่ได้รับจากภายนอกและสัญญาณการไหลที่ได้รับจากตัวเหนี่ยวนำเพื่อสร้างสัญญาณที่แตกต่างกันในวงเปรียบเทียบแล้วส่งไปยังวงจรไดรฟ์วาล์วถัดไป
5, วาล์วควบคุมการไหลให้มากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้เพื่อให้สัญญาณความแตกต่างนี้จะเป็น "0" เพื่อให้การไหลถูกควบคุมตลอดเวลาในการตั้งค่าการไหล
