บทสรุป
เครื่องวัดการไหลของมวลเป็นส่วนประกอบที่สำคัญมากในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความมั่นคงในการทํางานของมันมักจะกลายเป็นปัจจัยสําคัญสําหรับความสําเร็จหรือความล้มเหลวของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
HORIBA STEC, ในฐานะผู้ผลิตเครื่องวัดการไหลที่มีส่วนแบ่งการตลาดมากกว่า 35% * 1 ทั่วโลกให้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูงและหลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง ตอนนี้เทคโนโลยีใหม่ในมือ HORIBA STEC กำลังส่งเสริมตัวควบคุมการไหลของมวลใหม่ไปทั่วโลก: ซีรี่ส์ Z500
เมื่อเทียบกับรุ่นเก่าตระกูล Z500X บรรลุความก้าวหน้าใหม่และถูกกําหนดให้เปลี่ยนอนาคตของเทคโนโลยีการควบคุมการไหล ในขณะที่ให้บริการฟังก์ชั่นทั้งหมดของการควบคุมการไหลที่ลูกค้าต้องการตระหนักถึงการแปลงก๊าซคอมโพสิตการไหลของคอมโพสิต ลูกค้าสามารถเปลี่ยนประเภทก๊าซและช่วงของเครื่องวัดการไหลได้อย่างง่ายดาย * 2 ตามความต้องการของโปรแกรม
นอกจากนี้นวัตกรรมทางเทคโนโลยีของวัสดุผลิตภัณฑ์ชุด Z500 สามารถตอบสนองความต้องการในการออกแบบของผลิตภัณฑ์สีเขียว RoHS ได้อย่างสมบูรณ์เพื่อเพิ่มมูลค่าผลิตภัณฑ์ให้กับลูกค้า
เครื่องวัดการไหล Z500 ซีรี่ส์ประสิทธิภาพสูงจะทำให้คุณประหลาดใจมากขึ้น โลกกําลังเห็นการกําเนิดของเครื่องวัดการไหลของมวลใหม่ที่จะเปลี่ยนอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด
*1 อ้างอิงจากรายงานการศึกษาของ VLSI's 2007
* 2 ก๊าซคอมโพสิตฟังก์ชั่นการไหลคอมโพสิต
คุณสมบัติ
ความแม่นยำสูง: ตั้งค่าการไหล± 1.0%
ความแม่นยำเชิงเส้นของ MFC ได้รับการชดเชยด้วยเส้นโค้งโดยประมาณของพหุนามเทคโนโลยีนี้รับประกันความแม่นยำในการควบคุมสูงในแต่ละช่วงการควบคุม เพื่อปรับปรุงความแม่นยำในการควบคุมของก๊าซชนิดต่างๆที่เกิดขึ้นจริง HORIBA STEC ได้พัฒนาระบบการวัดก๊าซมาตรฐานและใช้การทดลองจำนวนมากเพื่อรวบรวมข้อมูลการสอบเทียบของก๊าซชนิดต่างๆ
การตอบสนองความเร็วสูง
SEC-Z500X ใช้ระบบ "PIDs ที่เปลี่ยนแปลงได้" ที่พัฒนาขึ้นใหม่ซึ่งรับประกันว่าการเปลี่ยนแปลงระหว่างจุดไหลที่ตั้งไว้สองจุดจะเสร็จสมบูรณ์ภายใน 1 วินาทีเมื่อกำหนดอัตราการไหลที่แตกต่างกันข้อมูล PID จะถูกปรับโดยอัตโนมัติแม้หลังจากการเปลี่ยนแปลงชนิดของก๊าซและช่วงการไหลข้อมูล PID สามารถเพิ่มประสิทธิภาพโดยอัตโนมัติและตระหนักถึงการตอบสนองความเร็วสูง
ก๊าซคอมโพสิต, แผนการไหลคอมโพสิต
ผลิตภัณฑ์ใหม่ของ HORIBA STEC ช่วยให้ลูกค้าสามารถเปลี่ยนชนิดของก๊าซและอัตราการไหลในสถานที่ได้อย่างง่ายดาย ซอฟต์แวร์การตั้งค่า Z500 ของเรานั้นง่ายและใช้งานง่าย ยังดีกว่าที่การเปลี่ยนแปลงเหล่านี้เสร็จสมบูรณ์ไม่จำเป็นต้องถอด MFC ออกจากระบบด้วยซ้ํา ด้วยวิธีนี้สามารถลดปริมาณชิ้นส่วนอะไหล่ของลูกค้าได้อย่างมากในขณะที่ประหยัดเวลาและค่าใช้จ่าย
แผนภูมิที่เกี่ยวข้องกับผลิตภัณฑ์และอื่น ๆ