การแนะนำฟังก์ชั่นผลิตภัณฑ์:

เทคโนโลยีการทำความสะอาดพลาสม่าเกิดขึ้นในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เมื่อประมาณ 30 ปีก่อนและการทำความสะอาดพลาสม่าส่วนใหญ่จะใช้ในการทำความสะอาดไฮโดรคาร์บอนบนพื้นผิวของตัวอย่าง จุดสำคัญของการทำความสะอาดพลาสม่าคือ: ไม่สามารถเปลี่ยนองค์ประกอบทางเคมีของตัวอย่างเองได้ ไม่สามารถเปลี่ยนลักษณะโครงสร้างของตัวอย่างได้ ไม่สามารถทำลายพื้นผิวของตัวอย่างได้
SOLARUS - ระบบทำความสะอาดพลาสม่าขั้นสูงใหม่เพื่อขจัดคราบไฮโดรคาร์บอนบนโต๊ะตัวอย่าง TEM และ SEM หรือตัวอย่าง Solarus เป็นระบบพลาสมารุ่นใหม่ แนวคิดและเทคโนโลยีใหม่ในการปรับปรุงทําให้มีประสิทธิภาพที่ดีขึ้น ใช้งานง่ายและทําความสะอาดได้ดี เมื่อเทียบกับระบบทำความสะอาดพลาสมาอื่น ๆ ในตลาด Solarus สามารถให้ผลการทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ

แนะนำแบรนด์:

บริษัท GATAN ในสหรัฐอเมริกาก่อตั้งขึ้นในปี 1964 และเข้าสู่ตลาดจีนในช่วงปลายทศวรรษ 1970 บริษัท GATAN มีชื่อเสียงระดับโลกในด้านประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์และเทคโนโลยีขั้นสูง

ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำของโลกในการออกแบบและผลิตอุปกรณ์เสริมเพื่อปรับปรุงและขยายการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนผลิตภัณฑ์ของพวกเขาครอบคลุมความต้องการทุกขั้นตอนตั้งแต่การเตรียมตัวอย่างไปจนถึงการถ่ายภาพการวิเคราะห์และอื่น ๆ ขอบเขตการใช้งานผลิตภัณฑ์รวมถึงวัสดุศาสตร์วิทยาศาสตร์เพื่อชีวิตธรณีฟิสิกส์อิเล็กทรอนิกส์วิทยาศาสตร์พลังงานและสาขาอื่น ๆ ลูกค้าครอบคลุมสถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ทั่วโลกวิทยาลัยและมหาวิทยาลัยสถาบันทดสอบต่างๆและห้องปฏิบัติการขององค์กรอุตสาหกรรมขนาดใหญ่และได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางในด้านการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ระหว่างประเทศ

แนะนำตัวแทนจำหน่าย:

Oupotong จำกัด เป็นผู้ให้บริการไมโครนาโนเทคโนโลยีชั้นนำในประเทศจีนเป็นองค์กรที่มีเทคโนโลยีสูงกับองค์กรที่ได้รับทุนจากต่างประเทศเป็นพื้นหลังการลงทุนมีสำนักงานใหญ่ในฮ่องกงและมีสาขาและสำนักงานในปักกิ่งเซี่ยงไฮ้เหลียวหนิงมณฑลซานตงและอื่น ๆ ตามลำดับ ในฐานะที่เป็นพันธมิตรเชิงกลยุทธ์ที่สำคัญของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Symerfey, GATAN Scanning Electronic Microscope Sample Equipment และอุปกรณ์วิเคราะห์อุปกรณ์เสริมในประเทศจีน บริษัท ของเรายึดมั่นในปรัชญาการดำเนินธุรกิจของ "การสร้างแบรนด์การขายเครื่องมือที่มีอิทธิพลภายในประเทศ" และ Symerfey แบรนด์ GATAN เป็นพันธมิตรที่แข็งแกร่งกำลังจัดหาผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูงและบริการด้านเทคนิคระหว่างประเทศให้กับผู้ใช้ชาวจีนหลายหมื่นคน

คุณสมบัติทางเทคนิคหลักของผลิตภัณฑ์:

Solarus เป็นโซลูชันการทำความสะอาดที่ไม่เหมือนใครซึ่งใช้สูตรพลาสม่าเพื่อให้ได้ผลการทำความสะอาดที่รวดเร็วและทั่วถึงมากขึ้นสำหรับตัวอย่างทั้งหมดรวมถึงฟิล์มคาร์บอน Holey อุปกรณ์นี้สามารถทําความสะอาดสารมลพิษที่สะสมบนพื้นผิวได้อย่างปลอดภัย - ขยายเวลาการสังเกตตัวอย่างที่ปนเปื้อนแล้ว ระบบสูญญากาศที่ใช้ปั๊มโมเลกุลกับปั๊มไดอะแฟรมแบบหลายขั้นตอนสามารถรับประกันผลการสูบอากาศที่รวดเร็วและเชื่อถือได้ น้อยกว่า 1 นาทีของการสูบน้ำและยุบเวลา 30 วินาที - 2 นาทีเวลาในการทำความสะอาดกระบวนการทั้งหมดใช้เวลา 2 นาที

ประโยชน์ของการใช้การทำความสะอาดพลาสม่า:

เพิ่มความสามารถในการถ่ายภาพ

เพิ่มความแม่นยำในการวิเคราะห์องค์ประกอบ

ใน SEM ขยายเวลาในการสังเกตและรวบรวม EDX และ EBSD

สามารถใช้จุดลำแสงขนาดเล็กซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการวิเคราะห์ STEM และ EELS ใน TEM / STEM

พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของผลิตภัณฑ์:

แหล่ง RF: แหล่งจ่ายไฟ RF 50 วัตต์พร้อมฟังก์ชั่นการจับคู่พลังงานอัตโนมัติ

ระบบสูญญากาศ: ปั๊มโมเลกุล 70 ลิตร / วินาทีพร้อมปั๊มไดอะแฟรมสองขั้นตอน

ความดันอากาศ: ความดันพื้นฐาน 5E-6 Torr, ความดันการทำงาน 400mTorr

เครื่องวัดสูญญากาศ: เครื่องวัด Pirani ขนาดกะทัดรัด

ห้องโดยสาร:

สองอินเตอร์เฟซด้านหน้าสามารถโหลดอะแดปเตอร์ TEM สำหรับการโหลดด้านข้างแทรก TEM เสาตัวอย่างและ SEM เสาตัวอย่าง

รายการด้านบนใช้สำหรับใส่ลงในโต๊ะตัวอย่าง SEM, ชิ้นส่วนกระบอกกล้องจุลทรรศน์หรือชิ้นส่วนสูญญากาศต่างๆ

ขนาดห้องโดยสาร 3.5 "เส้นผ่านศูนย์กลาง x 2.0 "ความลึก

หน้าต่างดูด้านหน้าสามารถสังเกตการเรืองแสงของพลาสมาในขณะที่ทำงาน

โซลินอยด์วาล์วในตัวแยกห้องโดยสารและปั๊มสูญญากาศออกจากกัน เวลาในการดูดฝุ่นน้อยกว่า 1 นาทีและเวลายุบน้อยกว่า 5 วินาที

การควบคุมแก๊ส: ใช้เครื่องวัดการไหลของมวลที่แม่นยำในการวัดและควบคุมการไหลของก๊าซ

ชนิดของก๊าซ: ใช้ก๊าซอิสระสามทาง (H2, O2 และ Ar)

สูตรทำความสะอาด: มีช่วงของสูตรที่มีสูตร H2 / O2 ในขณะที่สนับสนุนสูตรที่กำหนดเองของผู้ใช้

ส่วนต่อประสานผู้ใช้: ใช้หน้าจอสัมผัสแบบโต้ตอบและมีอินเทอร์เฟซหลายภาษาเช่นจีนอังกฤษ ฯลฯ

แหล่งจ่ายไฟ: แรงดันไฟฟ้าทั่วไป / ความถี่ 100VAC-240VAC / 50-60Hz / 1000W

ข้อได้เปรียบหลักของ Solarus เมื่อเทียบกับเครื่องทำความสะอาดพลาสม่าแบบดั้งเดิม:

1. สูตร H2 / O2 ที่ไม่ซ้ำกัน

2. ) รอบการทำความสะอาดที่เร็วขึ้น (น้อยกว่า 2 นาที)

3. ) การออกแบบหน้าจอสัมผัสแบบโต้ตอบ

4. ) มี 7 สูตรที่ผ่านการทดสอบแล้ว

5. ) 2 พอร์ตตัวอย่างด้านหน้าสำหรับการโหลด TEM ด้านข้างและแท่งตัวอย่าง SEM

6. ) พอร์ตตัวอย่างด้านบนสามารถโหลดได้หลายแบบ (> 25) TEM micrograting หรือ SEM ตัวอย่างตาราง / ตัวอย่าง

7. ) แหล่ง RF ของพลังงานที่จับคู่โดยอัตโนมัติช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของแหล่งพลาสม่าเป็นเวลานาน

8. ) การควบคุมการไหลของก๊าซที่แม่นยำ (เครื่องวัดการไหลของมวล)

9. ) ล้างฟิล์มคาร์บอน Holey สำหรับความเสียหายเล็กน้อย

10.) รองรับหลายภาษา (อังกฤษ, จีน, ญี่ปุ่น, เกาหลี, ฝรั่งเศส, เยอรมัน)

การใช้งานหลักของผลิตภัณฑ์:

กำจัดการปนเปื้อนของไฮโดรคาร์บอนบนโต๊ะตัวอย่าง TEM และ SEM หรือตัวอย่าง