ในการเตรียมน้ำบริสุทธิ์พิเศษคำอธิบายของ TOC (Total Organic Carbon) มีความสำคัญอย่างยิ่งโดยใช้เทคโนโลยีอัลตราไวโอเลต UV-185nm แรงดันต่ำและพลังงานสูงรวมกับเครื่องฆ่าเชื้อด้วยรังสีอัลตราไวโอเลต UV-254nm ซึ่งสามารถเร่งปฏิกิริยาด้วยแสงอัลตราไวโอเลต UV-185nm ในปริมาณสูงเพื่อสร้างอนุมูลอิสระไฮดรอกซีในน้ำและการย่อยสลายสารอินทรีย์ในน้ำโดยการออกซิเดชันเพื่อลดปริมาณ TOC ในน้ำ